ការអនុវត្តបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅក្នុងប្រព័ន្ធវិស្វកម្មអេឡិចត្រូនិច

គម្រោង 909 Very Large Scale Integrated Circuit Factory គឺជាគម្រោងសាងសង់ដ៏ធំមួយនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចរបស់ប្រទេសខ្ញុំក្នុងកំឡុងផែនការប្រាំឆ្នាំទីប្រាំបួនដើម្បីផលិតបន្ទះសៀគ្វីដែលមានទទឹងបន្ទាត់ 0.18 មីក្រូ និងអង្កត់ផ្ចិត 200 មីលីម៉ែត្រ។

បច្ចេកវិជ្ជាផលិតនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំមិនត្រឹមតែរួមបញ្ចូលនូវបច្ចេកវិជ្ជាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាម៉ាស៊ីនខ្នាតតូចប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងដាក់តម្រូវការខ្ពស់ទៅលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នផងដែរ។
ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នភាគច្រើនសម្រាប់គម្រោង 909 ត្រូវបានផ្តល់ដោយការបណ្តាក់ទុនរួមគ្នារវាងក្រុមហ៊ុន Praxair Utility Gas Co., Ltd. នៃសហរដ្ឋអាមេរិក និងភាគីពាក់ព័ន្ធនៅក្នុងទីក្រុងសៀងហៃ ដើម្បីបង្កើតរោងចក្រផលិតឧស្ម័នរួមគ្នា។ រោងចក្រផលិតឧស្ម័នស្ថិតនៅជាប់នឹងរោងចក្រគម្រោង 909 អគារ​ដែល​មាន​ផ្ទៃ​ក្រឡា​ប្រមាណ ១៥ ០០០ ម៉ែត្រការ៉េ។ តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធ និងទិន្នផលនៃឧស្ម័នផ្សេងៗ

អាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (PN2) អាសូត (N2) និងអុកស៊ីសែនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (PO2) ត្រូវបានផលិតដោយការបំបែកខ្យល់។ អ៊ីដ្រូសែនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (PH2) ត្រូវបានផលិតដោយអេឡិចត្រូលីស។ Argon (Ar) និង helium (He) ត្រូវបានទិញពីប្រភពខាងក្រៅ។ ឧស្ម័នពាក់កណ្តាលត្រូវបានបន្សុត និងត្រងសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងគម្រោង 909។ ឧស្ម័នពិសេសត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ក្នុងដប ហើយទូដាក់ដបឧស្ម័នមានទីតាំងនៅក្នុងសិក្ខាសាលាជំនួយនៃរោងចក្រផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។
ឧស្ម័នផ្សេងទៀតក៏រួមបញ្ចូលផងដែរនូវប្រព័ន្ធ CDA ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ស្ងួតដែលមានទំហំប្រើប្រាស់ 4185m3/h ចំណុចសន្សើមសម្ពាធ -70°C និងទំហំភាគល្អិតមិនលើសពី 0.01um នៅក្នុងឧស្ម័ននៅចំណុចប្រើប្រាស់។ ប្រព័ន្ធខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ (BA) បរិមាណប្រើប្រាស់ 90m3/h ចំណុចសន្សើមសម្ពាធ 2 ℃ ទំហំភាគល្អិតនៅក្នុងឧស្ម័ននៅចំណុចប្រើប្រាស់មិនធំជាង 0.3um ប្រព័ន្ធបូមធូលីដំណើរការ (PV) បរិមាណប្រើប្រាស់ 582m3/h ។ កម្រិតខ្វះចន្លោះនៅចំណុចនៃការប្រើប្រាស់ -79993Pa ។ សម្អាតប្រព័ន្ធបូមធូលី (HV) បរិមាណប្រើប្រាស់ 1440m3/h កម្រិតខ្វះចន្លោះនៅចំណុចប្រើប្រាស់ -59995 Pa ។បន្ទប់ម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់ និងបន្ទប់បូមធូលី ទាំងពីរមានទីតាំងនៅក្នុងតំបន់រោងចក្រគម្រោង 909។

ការជ្រើសរើសសម្ភារៈបំពង់និងគ្រឿងបន្លាស់
ឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងផលិតកម្ម VLSI មានតម្រូវការអនាម័យខ្ពស់បំផុត។បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ជាធម្មតាត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មស្អាត ហើយការត្រួតពិនិត្យភាពស្អាតរបស់ពួកគេគួរតែស្របជាមួយ ឬខ្ពស់ជាងកម្រិតអនាម័យនៃកន្លែងប្រើប្រាស់! លើសពីនេះទៀតបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មស្អាត។ អ៊ីដ្រូសែនសុទ្ធ (PH2) អុកស៊ីហ្សែនដ៏បរិសុទ្ធ (PO2) និងឧស្ម័នពិសេសមួយចំនួនគឺជាឧស្ម័នដែលអាចឆេះបាន ងាយឆេះ ងាយឆេះ ឬឧស្ម័នពុល។ ប្រសិនបើប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នត្រូវបានរចនាឡើងមិនត្រឹមត្រូវ ឬសម្ភារៈត្រូវបានជ្រើសរើសមិនត្រឹមត្រូវ មិនត្រឹមតែភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែលប្រើនៅចំណុចឧស្ម័ននឹងថយចុះប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏នឹងបរាជ័យផងដែរ។ វាបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការ ប៉ុន្តែវាមិនមានសុវត្ថិភាពក្នុងការប្រើប្រាស់ ហើយនឹងបង្កការបំពុលដល់រោងចក្រស្អាត ប៉ះពាល់ដល់សុវត្ថិភាព និងអនាម័យនៃរោងចក្រស្អាត។
ការធានាគុណភាពនៃឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅចំណុចនៃការប្រើប្រាស់មិនត្រឹមតែអាស្រ័យទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិតឧស្ម័ន ឧបករណ៍បន្សុត និងតម្រងប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ត្រូវបានរងផលប៉ះពាល់ក្នុងកម្រិតធំដោយកត្តាជាច្រើននៅក្នុងប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរប្រេងផងដែរ។ ប្រសិនបើយើងពឹងផ្អែកលើឧបករណ៍ផលិតឧស្ម័ន ឧបករណ៍បន្សុត និងតម្រង វាគ្រាន់តែមិនត្រឹមត្រូវក្នុងការកំណត់តម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់គ្មានដែនកំណត់ ដើម្បីទូទាត់សងសម្រាប់ការរចនាប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នមិនត្រឹមត្រូវ ឬការជ្រើសរើសសម្ភារៈ។
ក្នុងអំឡុងពេលនៃដំណើរការរចនានៃគម្រោង 909 យើងបានធ្វើតាម "កូដសម្រាប់ការរចនារុក្ខជាតិស្អាត" GBJ73-84 (ស្តង់ដារបច្ចុប្បន្នគឺ (GB50073-2001)) "លេខកូដសម្រាប់ការរចនាស្ថានីយ៍ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់" GBJ29-90 "លេខកូដ សម្រាប់ការរចនាស្ថានីយ៍អុកស៊ីសែន" GB50030-91 "លេខកូដសម្រាប់ការរចនាស្ថានីយ៍អ៊ីដ្រូសែន និងអុកស៊ីសែន" GB50177-93 និងវិធានការបច្ចេកទេសពាក់ព័ន្ធសម្រាប់ការជ្រើសរើសសម្ភារៈបំពង់បង្ហូរ និងគ្រឿងបន្លាស់។ "លេខកូដសម្រាប់ការរចនារុក្ខជាតិស្អាត" កំណត់ការជ្រើសរើសសម្ភារៈបំពង់បង្ហូរ និងវ៉ាល់ដូចខាងក្រោម៖

(1) ប្រសិនបើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នធំជាង ឬស្មើនឹង 99.999% ហើយចំណុចទឹកសន្សើមគឺទាបជាង -76°C បំពង់ដែកអ៊ីណុកទាបកាបូនទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុង electropolished ឬ OCr18Ni9 បំពង់ដែកអ៊ីណុក (304) ជាមួយ ជញ្ជាំងខាងក្នុង electropolished គួរតែត្រូវបានប្រើ។ សន្ទះបិទបើកគួរតែជាសន្ទះ diaphragm ឬសន្ទះបិទបើក។

(2) ប្រសិនបើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នធំជាង ឬស្មើនឹង 99.99% ហើយចំណុចទឹកសន្សើមគឺទាបជាង -60°C នោះបំពង់ដែកអ៊ីណុក OCr18Ni9 (304) ដែលមានជញ្ជាំងខាងក្នុង electropolished គួរតែត្រូវបានប្រើ។ លើកលែងតែសន្ទះបិទបើកដែលគួរប្រើសម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលអាចឆេះបាន វ៉ាល់បាល់គួរតែត្រូវបានប្រើសម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នផ្សេងទៀត។

(3) ប្រសិនបើចំណុចទឹកសន្សើមនៃខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ស្ងួតទាបជាង -70°C នោះបំពង់ដែកអ៊ីណុក OCr18Ni9 (304) ដែលមានជញ្ជាំងខាងក្នុងប៉ូលាគួរតែត្រូវបានប្រើ។ ប្រសិនបើចំណុចទឹកសន្សើមគឺទាបជាង -40 ℃ បំពង់ដែកអ៊ីណុក OCr18Ni9 (304) ឬបំពង់ដែកគ្មានថ្នេរដែលមានជាតិស័ង្កសីជ្រលក់ក្តៅគួរត្រូវបានប្រើប្រាស់។ សន្ទះបិទបើកគួរតែជាសន្ទះបិទបើក ឬសន្ទះបាល់។

(4) សម្ភារៈសន្ទះបិទបើកគួរតែត្រូវគ្នាជាមួយសម្ភារៈបំពង់តភ្ជាប់។

យោងតាមតម្រូវការនៃលក្ខណៈបច្ចេកទេស និងវិធានការបច្ចេកទេសពាក់ព័ន្ធ យើងពិចារណាជាចម្បងលើទិដ្ឋភាពខាងក្រោមនៅពេលជ្រើសរើសសម្ភារបំពង់បង្ហូរប្រេង៖

(1) ភាពជ្រាបចូលខ្យល់នៃសម្ភារៈបំពង់គួរតែតូច។ បំពង់នៃវត្ថុធាតុផ្សេងៗគ្នាមានភាពជ្រាបចូលខ្យល់ខុសៗគ្នា។ ប្រសិនបើបំពង់ដែលមានភាពជ្រាបចូលខ្យល់ខ្លាំងជាងត្រូវបានជ្រើសរើស ការបំពុលមិនអាចត្រូវបានយកចេញបានទេ។ បំពង់ដែកអ៊ីណុក និងបំពង់ស្ពាន់គឺល្អជាងក្នុងការការពារការជ្រៀតចូល និងការច្រេះនៃអុកស៊ីសែននៅក្នុងបរិយាកាស។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារបំពង់ដែកអ៊ីណុកមានសកម្មភាពតិចជាងបំពង់ស្ពាន់ បំពង់ស្ពាន់មានសកម្មភាពច្រើនជាងក្នុងការអនុញ្ញាតឱ្យសំណើមក្នុងបរិយាកាសជ្រាបចូលទៅក្នុងផ្ទៃខាងក្នុងរបស់វា។ ដូច្នេះនៅពេលជ្រើសរើសបំពង់សម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំពង់ដែកអ៊ីណុកគួរតែជាជម្រើសដំបូង។

(2) ផ្ទៃខាងក្នុងនៃសម្ភារៈបំពង់ត្រូវបាន adsorbed និងមានឥទ្ធិពលតិចតួចលើការវិភាគឧស្ម័ន។ បន្ទាប់ពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកត្រូវបានដំណើរការ បរិមាណឧស្ម័នជាក់លាក់មួយនឹងត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្នុងបន្ទះដែករបស់វា។ នៅពេលដែលឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ឆ្លងកាត់ផ្នែកនៃឧស្ម័ននេះនឹងចូលទៅក្នុងលំហូរខ្យល់ហើយបណ្តាលឱ្យមានការបំពុល។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ដោយសារតែការស្រូបយក និងការវិភាគ លោហធាតុដែលស្ថិតនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់ ក៏នឹងផលិតម្សៅមួយចំនួនផងដែរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបំពុលដល់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ សម្រាប់ប្រព័ន្ធបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធលើសពី 99.999% ឬកម្រិត ppb បំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) គួរតែត្រូវបានប្រើ។

(3) ភាពធន់នឹងការពាក់នៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកគឺល្អជាងបំពង់ស្ពាន់ ហើយធូលីលោហៈដែលបង្កើតឡើងដោយសំណឹកនៃលំហូរខ្យល់គឺតិចជាង។ សិក្ខាសាលាផលិតកម្មដែលមានតម្រូវការខ្ពស់ជាងមុនសម្រាប់ភាពស្អាតអាចប្រើបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ឬ OCr18Ni9 បំពង់ដែកអ៊ីណុក (304) បំពង់ស្ពាន់មិនត្រូវប្រើទេ។

(4) សម្រាប់ប្រព័ន្ធបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នលើសពី 99.999% ឬកម្រិត ppb ឬ ppt ឬនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមានកម្រិតអនាម័យខ្យល់នៃ N1-N6 ដែលបានបញ្ជាក់នៅក្នុង "Clean Factory Design Code" បំពង់ស្អាតជ្រុល ឬEP បំពង់ស្អាតខ្លាំងគួរតែត្រូវបានប្រើ។ សម្អាត "បំពង់ស្អាតជាមួយនឹងផ្ទៃខាងក្នុងរលោងបំផុត" ។

(5) ប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នពិសេសមួយចំនួនដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិតគឺជាឧស្ម័នដែលមានសារធាតុច្រេះខ្លាំង។ បំពង់នៅក្នុងប្រព័ន្ធបំពង់ទាំងនេះត្រូវតែប្រើបំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលធន់នឹងការ corrosion ជាបំពង់។ បើមិនដូច្នោះទេបំពង់នឹងត្រូវខូចខាតដោយសារតែការ corrosion ។ ប្រសិនបើចំណុច corrosion កើតឡើងនៅលើផ្ទៃខាងលើ បំពង់ដែកគ្មានថ្នេរធម្មតា ឬបំពង់ដែក galvanized welded មិនត្រូវប្រើទេ។

(6) ជាគោលការណ៍ការតភ្ជាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នទាំងអស់គួរតែត្រូវបាន welded ។ ចាប់តាំងពីការផ្សារបំពង់ដែក galvanized នឹងបំផ្លាញស្រទាប់ galvanized បំពង់ដែក galvanized មិនត្រូវបានប្រើសម្រាប់បំពង់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត។

ដោយពិចារណាលើកត្តាខាងលើ បំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន និងសន្ទះបិទបើកដែលបានជ្រើសរើសនៅក្នុងគម្រោង &7& មានដូចខាងក្រោម៖

បំពង់ប្រព័ន្ធអាសូត (PN2) ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាបកាបូនទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងអេឡិចត្រូប៉ូលីលីក ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធអាសូត (N2) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងអេឡិចត្រូប៉ូលីលីក ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធអ៊ីដ្រូសែនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (PH2) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងដែលធ្វើពីអេឡិចត្រូប៉ូលីលីក ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធអុកស៊ីហ្សែន (PO2) ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងដែលធ្វើពីអេឡិចត្រិច ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធ Argon (Ar) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាប 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុង electropolished ហើយសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកនៃសម្ភារៈដូចគ្នាត្រូវបានប្រើ។
បំពង់ប្រព័ន្ធអេលីយ៉ូម (ហេ) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុកទាបកាបូនអ៊ីណុក 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងអេឡិចត្រូប៉ូលីលីក ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ស្ងួតស្អាត (CDA) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុក OCr18Ni9 (304) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងដែលរលោង ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ (BA) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ដែកអ៊ីណុក OCr18Ni9 (304) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុងដែលរលោង ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបាល់ដែកអ៊ីណុកដែលមានសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់ប្រព័ន្ធបូមធូលីដំណើរការ (PV) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ UPVC ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកមេអំបៅដែលធ្វើពីសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់សម្អាតប្រព័ន្ធបូមធូលី (HV) ត្រូវបានផលិតពីបំពង់ UPVC ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីសន្ទះបិទបើកមេអំបៅដែលធ្វើពីសម្ភារៈដូចគ្នា។
បំពង់នៃប្រព័ន្ធឧស្ម័នពិសេសទាំងអស់ត្រូវបានផលិតពី 00Cr17Ni12Mo2Ti បំពង់ដែកអ៊ីណុកទាបកាបូនអ៊ីណុក (316L) ជាមួយនឹងជញ្ជាំងខាងក្នុង electropolished ហើយសន្ទះបិទបើកត្រូវបានធ្វើពីដែកអ៊ីណុកសន្ទះបិទបើកនៃសម្ភារៈដូចគ្នា។

3 ការសាងសង់និងការដំឡើងបំពង់
3.1 ផ្នែកទី 8.3 នៃ "កូដរចនាអគាររោងចក្រស្អាត" ចែងអំពីបទប្បញ្ញត្តិខាងក្រោមសម្រាប់ការតភ្ជាប់បំពង់៖
(1) ការភ្ជាប់បំពង់គួរតែត្រូវបានផ្សារ ប៉ុន្តែបំពង់ដែកស័ង្កសីដែលជ្រលក់ក្តៅគួរត្រូវបាន threaded ។ សម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់នៃការតភ្ជាប់ខ្សែស្រឡាយត្រូវគោរពតាមតម្រូវការនៃមាត្រា 8.3.3 នៃការបញ្ជាក់នេះ។
(2) បំពង់ដែកអ៊ីណុកគួរត្រូវបានតភ្ជាប់ដោយការផ្សារអាកុន និងការផ្សារគូទ ឬការផ្សាររន្ធ ប៉ុន្តែបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គួរតែត្រូវបានតភ្ជាប់ដោយការផ្សារគូទដោយគ្មានស្នាមនៅលើជញ្ជាំងខាងក្នុង។
(3) ការតភ្ជាប់រវាងបំពង់ និងឧបករណ៍គួរតែអនុលោមតាមតម្រូវការនៃការភ្ជាប់ឧបករណ៍។ នៅពេលប្រើការភ្ជាប់ទុយោ ទុយោដែកគួរតែត្រូវបានប្រើ។
(4) ការតភ្ជាប់រវាងបំពង់ និងវ៉ាល់គួរតែគោរពតាមបទប្បញ្ញត្តិដូចខាងក្រោម

① សម្ភារៈផ្សាភ្ជាប់ដែលភ្ជាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន និងសន្ទះបិទបើកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គួរប្រើបំពង់ដែក ឬ ferrules ពីរដងតាមតម្រូវការនៃដំណើរការផលិត និងលក្ខណៈឧស្ម័ន។
② សមា្ភារៈផ្សាភ្ជាប់នៅការតភ្ជាប់ខ្សែស្រោប ឬប្រឡោះ គួរតែជាប៉ូលីតេត្រាហ្វ្លុយអូអេទីឡែន។
3.2 យោងតាមតម្រូវការនៃលក្ខណៈបច្ចេកទេសនិងវិធានការបច្ចេកទេសដែលពាក់ព័ន្ធការតភ្ជាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គួរតែត្រូវបានផ្សារដែកតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ ការផ្សារគូទដោយផ្ទាល់គួរតែត្រូវបានជៀសវាងក្នុងអំឡុងពេលផ្សារ។ ដៃអាវបំពង់ឬសន្លាក់ដែលបានបញ្ចប់គួរតែត្រូវបានប្រើ។ ដៃអាវបំពង់គួរតែធ្វើពីសម្ភារៈដូចគ្នា និងផ្ទៃខាងក្នុងរលោងដូចបំពង់។ កម្រិត ក្នុងអំឡុងពេលផ្សារដែក ដើម្បីការពារការកត់សុីនៃផ្នែកផ្សារ ឧស្ម័នការពារសុទ្ធគួរតែត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបំពង់ផ្សារ។ សម្រាប់បំពង់ដែកអ៊ីណុក ការផ្សារធ្នូ argon គួរតែត្រូវបានប្រើ ហើយឧស្ម័ន argon នៃភាពបរិសុទ្ធដូចគ្នាគួរតែត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបំពង់។ ការតភ្ជាប់ខ្សែស្រឡាយឬការតភ្ជាប់ខ្សែស្រឡាយត្រូវតែប្រើ។ នៅពេលភ្ជាប់ flanges, ferrules គួរតែត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការភ្ជាប់ខ្សែស្រឡាយ។ លើកលែងតែបំពង់អុកស៊ីហ៊្សែន និងបំពង់អ៊ីដ្រូសែន ដែលគួរប្រើបំពង់ដែក បំពង់ផ្សេងទៀតគួរតែប្រើបំពង់ប៉ូលីតេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូអ៊ីតលីន។ ការដាក់ជ័រស៊ីលីកុនតិចតួចទៅនឹងប្រដាប់ប្រដារក៏នឹងមានប្រសិទ្ធភាពផងដែរ។ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្សាភ្ជាប់។ វិធានការស្រដៀងគ្នានេះគួរតែត្រូវបានអនុវត្តនៅពេលដែលការតភ្ជាប់ flange ត្រូវបានធ្វើឡើង។
មុនពេលការងារដំឡើងចាប់ផ្តើម ការត្រួតពិនិត្យមើលឃើញលម្អិតនៃបំពង់,ឧបករណ៍, វ៉ាល់, ល. ត្រូវតែត្រូវបានអនុវត្ត។ ជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកធម្មតាគួរតែត្រូវបានរើសមុនពេលដំឡើង។ បំពង់ បំពង់បង្ហូរទឹក វ៉ាល់ជាដើម នៃបំពង់បង្ហូរអុកស៊ីហ្សែន គួរតែត្រូវបានហាមឃាត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងពីប្រេង ហើយគួរតែត្រូវបាន degreased យ៉ាងតឹងរ៉ឹងតាមតម្រូវការពាក់ព័ន្ធ មុនពេលដំឡើង។
មុនពេលប្រព័ន្ធត្រូវបានដំឡើង និងដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់ ប្រព័ន្ធបំពង់បញ្ជូន និងចែកចាយគួរតែត្រូវបានសម្អាតទាំងស្រុងជាមួយនឹងឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ នេះមិនត្រឹមតែផ្លុំចេញនូវភាគល្អិតធូលីដែលធ្លាក់ចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធដោយចៃដន្យក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដំឡើងប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងដើរតួនាទីស្ងួតនៅក្នុងប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរចេញ ដោយយកផ្នែកមួយនៃឧស្ម័នដែលមានសំណើមដែលស្រូបយកដោយជញ្ជាំងបំពង់ និងសូម្បីតែសម្ភារៈបំពង់។

4. ការធ្វើតេស្តសម្ពាធបំពង់និងការទទួលយក
(1) បន្ទាប់ពីប្រព័ន្ធត្រូវបានដំឡើង ការត្រួតពិនិត្យកាំរស្មី 100% នៃបំពង់ដែលដឹកជញ្ជូនវត្ថុរាវដែលមានជាតិពុលខ្លាំងនៅក្នុងបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នពិសេសនឹងត្រូវអនុវត្ត ហើយគុណភាពរបស់វាមិនត្រូវទាបជាងកម្រិត II ឡើយ។ បំពង់ផ្សេងទៀតត្រូវស្ថិតនៅក្រោមការត្រួតពិនិត្យដោយកាំរស្មីគំរូ ហើយសមាមាត្រនៃការត្រួតពិនិត្យគំរូមិនត្រូវតិចជាង 5% គុណភាពមិនទាបជាងថ្នាក់ទី III ឡើយ។
(2) បន្ទាប់ពីឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យដែលមិនមានការបំផ្លិចបំផ្លាញ ការធ្វើតេស្តសម្ពាធគួរតែត្រូវបានអនុវត្ត។ ដើម្បីធានាបាននូវភាពស្ងួត និងភាពស្អាតនៃប្រព័ន្ធបំពង់ ការធ្វើតេស្តសម្ពាធធារាសាស្ត្រមិនត្រូវធ្វើឡើងនោះទេ ប៉ុន្តែការធ្វើតេស្តសម្ពាធខ្យល់គួរតែត្រូវបានប្រើ។ ការធ្វើតេស្តសម្ពាធខ្យល់គួរតែត្រូវបានអនុវត្តដោយប្រើអាសូតឬខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ដែលត្រូវគ្នានឹងកម្រិតអនាម័យនៃបន្ទប់ស្អាត។ សម្ពាធសាកល្បងនៃបំពង់បង្ហូរប្រេងគួរតែមាន 1.15 ដងនៃសម្ពាធរចនា ហើយសម្ពាធសាកល្បងនៃបំពង់បូមធូលីគួរតែមាន 0.2MPa ។ ក្នុងអំឡុងពេលធ្វើតេស្តសម្ពាធគួរតែកើនឡើងបន្តិចម្តង ៗ និងយឺត ៗ ។ នៅពេលដែលសម្ពាធកើនឡើងដល់ 50% នៃសម្ពាធតេស្ត ប្រសិនបើមិនឃើញមានភាពមិនប្រក្រតី ឬលេចធ្លាយទេ សូមបន្តបង្កើនសម្ពាធមួយជំហានម្តងៗ 10% នៃសម្ពាធតេស្ត ហើយរក្សាសម្ពាធឱ្យស្ថិតស្ថេររយៈពេល 3 នាទីនៅកម្រិតនីមួយៗ រហូតដល់សម្ពាធតេស្ត . រក្សាស្ថេរភាពសម្ពាធរយៈពេល 10 នាទីបន្ទាប់មកបន្ថយសម្ពាធទៅជាសម្ពាធរចនា។ ពេលវេលាបញ្ឈប់សម្ពាធគួរតែត្រូវបានកំណត់តាមតម្រូវការនៃការរកឃើញលេចធ្លាយ។ ភ្នាក់ងារពពុះមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់ប្រសិនបើគ្មានការលេចធ្លាយ។
(3) បន្ទាប់ពីប្រព័ន្ធបូមធូលីបានឆ្លងកាត់ការសាកល្បងសម្ពាធហើយ វាក៏គួរធ្វើតេស្តកម្រិតសុញ្ញកាសរយៈពេល 24 ម៉ោងផងដែរ យោងទៅតាមឯកសាររចនា ហើយអត្រាសម្ពាធមិនគួរលើសពី 5% ឡើយ។
(4) ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយ។ សម្រាប់ប្រព័ន្ធបំពង់ថ្នាក់ ppb និង ppt យោងតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសពាក់ព័ន្ធ ការលេចធ្លាយមិនគួរត្រូវបានចាត់ទុកថាមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់ទេ ប៉ុន្តែការធ្វើតេស្តបរិមាណលេចធ្លាយត្រូវបានប្រើកំឡុងពេលរចនា ពោលគឺការធ្វើតេស្តបរិមាណលេចធ្លាយត្រូវបានអនុវត្តបន្ទាប់ពីការធ្វើតេស្តភាពតឹងនៃខ្យល់។ សម្ពាធគឺជាសម្ពាធការងារ ហើយសម្ពាធត្រូវបានបញ្ឈប់រយៈពេល 24 ម៉ោង។ ការលេចធ្លាយក្នុងមួយម៉ោងជាមធ្យមគឺតិចជាង ឬស្មើនឹង 50ppm ដូចដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់។ ការគណនានៃការលេចធ្លាយមានដូចខាងក្រោម:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
នៅក្នុងរូបមន្ត៖
ការលេចធ្លាយមួយម៉ោង (%)
P1- សម្ពាធដាច់ខាតនៅដើមការធ្វើតេស្ត (Pa)
P2- សម្ពាធដាច់ខាតនៅចុងបញ្ចប់នៃការធ្វើតេស្ត (Pa)
T1- សីតុណ្ហភាពដាច់ខាតនៅដើមការធ្វើតេស្ត (K)
T2- សីតុណ្ហភាពដាច់ខាតនៅចុងបញ្ចប់នៃការធ្វើតេស្ត (K)