ប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាស

1. និយមន័យប្រព័ន្ធឧស្ម័នច្រើន៖

ការផ្ទុក និងការគ្រប់គ្រងសម្ពាធនៃឧស្ម័នអសកម្ម ប្រភេទឧស្ម័ន៖ ឧស្ម័នអសកម្មធម្មតា (អាសូត អាហ្គុន ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់។ល។)

ទំហំបំពង់៖ ចាប់ពី 1/4 (បំពង់ត្រួតពិនិត្យ) ដល់បំពង់មេ 12 អ៊ីញ

ផលិតផលសំខាន់ៗនៃប្រព័ន្ធគឺ៖ សន្ទះបិទបើក សន្ទះបិទបើក / សន្ទះបិទបើក / សន្ទះបាល់ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR, ទម្រង់ផ្សារ) ឧបករណ៍ភ្ជាប់ ferrule សន្ទះគ្រប់គ្រងសម្ពាធ រង្វាស់សម្ពាធ។ល។

បច្ចុប្បន្ននេះ ប្រព័ន្ធថ្មីនេះក៏រួមបញ្ចូលផងដែរនូវប្រព័ន្ធឧស្ម័នពិសេសមួយភាគធំ ដែលប្រើប្រាស់ស៊ីឡាំងឧស្ម័នថេរ ឬរថយន្តធុងសម្រាប់ផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូន។

2. និយមន័យប្រព័ន្ធបន្សុត៖

ការយកចេញនូវភាពមិនបរិសុទ្ធពីឧស្ម័នភាគច្រើនសម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

3. និយមន័យធុងហ្គាស៖

ផ្តល់ការត្រួតពិនិត្យសម្ពាធ និងការត្រួតពិនិត្យលំហូរសម្រាប់ប្រភពឧស្ម័នពិសេស (សារធាតុពុល ងាយឆេះ ប្រតិកម្ម ឧស្ម័នច្រេះ) និងមានសមត្ថភាពជំនួសស៊ីឡាំងឧស្ម័ន។

ទីតាំង៖ ស្ថិតនៅជាន់ក្រោម Sub-fab ឬជាន់ក្រោមសម្រាប់ផ្ទុកហ្គាសពិសេស ប្រភព៖ NF3, SF6, WF6 ជាដើម។

ទំហំបំពង់៖ បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នខាងក្នុង ជាទូទៅ 1/4 អ៊ីញសម្រាប់ដំណើរការបំពង់បង្ហូរប្រេង 1/4-3/8 អ៊ីញជាចម្បងសម្រាប់បំពង់បង្ហូរអាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

ផលិតផលសំខាន់ៗ៖ សន្ទះបិទបើកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សន្ទះត្រួតពិនិត្យ រង្វាស់សម្ពាធ រង្វាស់សម្ពាធ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR ទម្រង់ផ្សារ) ទូហ្គាសទាំងនេះជាមូលដ្ឋានផ្ទុកនូវសមត្ថភាពប្តូរដោយស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់ស៊ីឡាំង ដើម្បីធានាការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នជាបន្តបន្ទាប់ និងការជំនួសស៊ីឡាំងដោយសុវត្ថិភាព។