១. និយមន័យប្រព័ន្ធឧស្ម័នបរិមាណច្រើន៖
ការផ្ទុក និងការគ្រប់គ្រងសម្ពាធនៃឧស្ម័នអសកម្ម ប្រភេទឧស្ម័ន៖ ឧស្ម័នអសកម្មធម្មតា (អាសូត អារហ្គុន ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់។ល។)
ទំហំបំពង់៖ ចាប់ពី 1/4 (បំពង់ត្រួតពិនិត្យ) ដល់បំពង់មេ 12 អ៊ីញ
ផលិតផលសំខាន់ៗនៃប្រព័ន្ធនេះគឺ៖ សន្ទះបិទបើកដ្យាក្រាម/សន្ទះបិទបើកបូម/សន្ទះបាល់ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR ទម្រង់ផ្សារ) ឧបករណ៍ភ្ជាប់ដែក សន្ទះបិទបើកកំណត់សម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ។ល។
បច្ចុប្បន្ននេះ ប្រព័ន្ធថ្មីនេះក៏រួមបញ្ចូលទាំងប្រព័ន្ធឧស្ម័នពិសេសសម្រាប់ដឹកជញ្ជូនផងដែរ ដែលប្រើប្រាស់ស៊ីឡាំងឧស្ម័នថេរ ឬឡានដឹកធុងសម្រាប់ផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូន។
២. និយមន័យនៃប្រព័ន្ធបន្សុទ្ធ៖
ការដកយកភាពមិនបរិសុទ្ធចេញពីឧស្ម័នភាគច្រើនសម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
៣. និយមន័យនៃទូហ្គាស៖
ផ្តល់ការគ្រប់គ្រងសម្ពាធ និងការត្រួតពិនិត្យលំហូរសម្រាប់ប្រភពឧស្ម័នពិសេស (ឧស្ម័នពុល ឧស្ម័នងាយឆេះ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម ឧស្ម័នច្រេះ) និងមានសមត្ថភាពជំនួសស៊ីឡាំងឧស្ម័ន។
ទីតាំង៖ ស្ថិតនៅជាន់ Sub-fab ឬជាន់ខាងក្រោមសម្រាប់ផ្ទុកឧស្ម័នពិសេស។ ប្រភព៖ NF3, SF6, WF6 ជាដើម។
ទំហំបំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន៖ បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នខាងក្នុង ជាទូទៅ 1/4 អ៊ីញសម្រាប់បំពង់បង្ហូរដំណើរការ 1/4-3/8 អ៊ីញជាចម្បងសម្រាប់បំពង់បង្ហូរបន្សុទ្ធអាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
ផលិតផលសំខាន់ៗ៖ សន្ទះបិទបើកដ្យាក្រាមភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សន្ទះបិទបើកត្រួតពិនិត្យ ឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR ទម្រង់ផ្សារ) ទូឧស្ម័នទាំងនេះជាទូទៅមានសមត្ថភាពប្តូរដោយស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់ស៊ីឡាំង ដើម្បីធានាបាននូវការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នជាបន្តបន្ទាប់ និងការជំនួសស៊ីឡាំងដោយសុវត្ថិភាព។
៤. និយមន័យនៃការចែកចាយ៖
ការតភ្ជាប់ប្រភពឧស្ម័នទៅនឹងឧបករណ៍ប្រមូលឧស្ម័ន
ទំហំខ្សែ៖ នៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប ទំហំនៃបំពង់ចែកចាយឧស្ម័នភាគច្រើនជាទូទៅមានចាប់ពី 1/2 អ៊ីញ ដល់ 2 អ៊ីញ។
ទម្រង់តភ្ជាប់៖ បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នពិសេសជាទូទៅត្រូវបានភ្ជាប់ដោយការផ្សារ ដោយមិនមានការតភ្ជាប់មេកានិច ឬផ្នែកដែលមានចលនាផ្សេងទៀតទេ ដែលភាគច្រើនដោយសារតែការតភ្ជាប់ផ្សារមានភាពជឿជាក់នៃការផ្សាភ្ជាប់ខ្លាំង។
នៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប មានបំពង់រាប់រយគីឡូម៉ែត្រដែលតភ្ជាប់ដើម្បីបញ្ជូនឧស្ម័ន ដែលជាទូទៅមានប្រវែងប្រហែល 20 ហ្វីត និងត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ជាមួយគ្នា។ ការពត់បំពង់មួយចំនួន និងការភ្ជាប់ផ្សារបំពង់ក៏ជារឿងធម្មតាដែរ។
៥. ប្រអប់វ៉ាល់ពហុមុខងារ (ប្រអប់ម៉ានីហ្វូលវ៉ាល់, VMB) និយមន័យ៖
វាគឺដើម្បីចែកចាយឧស្ម័នពិសេសពីប្រភពឧស្ម័នទៅកាន់ចុងឧបករណ៍ផ្សេងៗគ្នា។
ទំហំបំពង់បង្ហូរខាងក្នុង៖ បំពង់បង្ហូរដំណើរការទំហំ 1/4 អ៊ីញ និងបំពង់បង្ហូរបន្សុទ្ធទំហំ 1/4 - 3/8 អ៊ីញ។ ប្រព័ន្ធនេះអាចប្រើការគ្រប់គ្រងដោយកុំព្យូទ័រ ដើម្បីទាមទារវ៉ាល់ដែលដំណើរការ ឬស្ថានភាពតម្លៃទាបជាមួយវ៉ាល់ដោយដៃ។
ផលិតផលប្រព័ន្ធ៖ វ៉ាល់ដ្យាក្រាម/វ៉ាល់ប៉ោលដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ វ៉ាល់ត្រួតពិនិត្យ សន្លាក់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR ទម្រង់មីក្រូផ្សារ) វ៉ាល់គ្រប់គ្រងសម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ និងឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ។ល។ សម្រាប់ការចែកចាយឧស្ម័នអសកម្មមួយចំនួន បន្ទះសន្ទះបិទបើក - VMP (ឌីសសន្ទះបិទបើកពហុមុខងារ) ត្រូវបានប្រើជាចម្បង ដែលមានផ្ទៃឌីសឧស្ម័នបើកចំហ ហើយមិនតម្រូវឱ្យមានការរចនាកន្លែងបិទជិត និងការបន្សុទ្ធអាសូតបន្ថែមទេ។
៦. បន្ទះ/ប្រអប់វ៉ាល់បន្ទាប់បន្សំ (បន្ទះភ្ជាប់ឧបករណ៍) និយមន័យ៖
ភ្ជាប់ឧស្ម័នដែលត្រូវការដោយឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រពីប្រភពឧស្ម័នទៅចុងឧបករណ៍ ហើយផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងសម្ពាធដែលត្រូវគ្នា។ បន្ទះនេះគឺជាប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងឧស្ម័នដែលនៅជិតចុងឧបករណ៍ជាង VMB (ប្រអប់សន្ទះបិទបើកពហុមុខងារ)។
ទំហំបំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន៖ ១/៤ - ៣/៨ អ៊ីញ
ទំហំបំពង់បង្ហូររាវ៖ ១/២ - ១ អ៊ីញ
ទំហំបំពង់បង្ហូរ៖ ១/២ - ១ អ៊ីញ
ផលិតផលសំខាន់ៗ៖ សន្ទះបិទបើកដ្យាក្រាម/សន្ទះបូមខ្យល់ សន្ទះបិទបើកតែមួយផ្លូវ សន្ទះបិទបើកកំណត់សម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់សម្ពាធ សន្លាក់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (VCR ការផ្សារមីក្រូ) សន្លាក់ដែក សន្ទះបាល់ ទុយោ ជាដើម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២២ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៤