សំណើម និងភាគល្អិតដែលបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ៖ របៀបដែលផ្ទៃបញ្ចប់ប៉ះពាល់ដល់ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន

នៅក្នុងប្រព័ន្ធឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ភាពខុសគ្នារវាងដំណើរការដែលរកប្រាក់ចំណេញ និងការបរាជ័យដែលចំណាយច្រើន ជារឿយៗអាស្រ័យលើអ្វីដែលអ្នកមើលមិនឃើញ។ សំណើម និងភាគល្អិត — ដែលវាស់វែងជាផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន ឬសូម្បីតែផ្នែកក្នុងមួយពាន់ពាន់លាន — អាចបំពុលស្ទ្រីមឧស្ម័នដោយស្ងៀមស្ងាត់ ធ្វើឱ្យខូចគុណភាពផលិតផល និងបិទខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ខណៈពេលដែលឧបករណ៍ច្រោះ ការបន្សុទ្ធ និងការគ្រប់គ្រងលំហូរទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍ភាគច្រើន ឥទ្ធិពលជាមូលដ្ឋានបំផុតមួយលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នគឺផ្ទៃនៃបំពង់ដែលផ្ទុកឧស្ម័ន។ របៀបដែលផ្ទៃនោះត្រូវបានបញ្ចប់កំណត់ថាតើវាអាចស្រូបយកសំណើមបានប៉ុន្មាន ចំនួនភាគល្អិតដែលវាអាចចាប់បាន និងចំនួនដែលវានឹងបញ្ចេញឧស្ម័នចេញក្នុងរយៈពេលនៃប្រព័ន្ធ។ ការណែនាំនេះពន្យល់អំពីយន្តការនៃសំណើម និងការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ វាស់បរិមាណផលប៉ះពាល់នៃការបញ្ចប់ផ្ទៃលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន និងគូសបញ្ជាក់ពីយុទ្ធសាស្ត្របញ្ចប់ និងប្រតិបត្តិការដែលប្រើដើម្បីផ្តល់នូវដំណើរការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (UHP)។

តើការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញជាអ្វី ហើយហេតុអ្វីបានជាវាសំខាន់?

ការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ គឺជាការបញ្ចេញឧស្ម័ន និងសំណើមបន្តិចម្តងៗ ដែលបានស្រូបយក ឬស្រូបចូលទៅក្នុងផ្ទៃសម្ភារៈ ឬរលាយនៅក្នុងស្រទាប់ជិតផ្ទៃរបស់វា។ ការបញ្ចេញនេះត្រូវបានបង្កឡើងនៅពេលដែលសម្ពាធជុំវិញធ្លាក់ចុះ សីតុណ្ហភាពកើនឡើង ឬឧស្ម័នបន្សុទ្ធបោកបក់ឆ្លងកាត់ផ្ទៃ — លក្ខខណ្ឌដូចគ្នាដែលមាននៅក្នុងប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័ន បន្ទប់បូមធូលី និងឧបករណ៍វិភាគ។ នៅក្នុងប្រព័ន្ធដែកអ៊ីណុក ចំហាយទឹកគឺជាសារធាតុបំពុលបញ្ចេញឧស្ម័នចេញទូទៅបំផុត បន្ទាប់មកគឺអ៊ីដ្រូកាបូន និងសំណល់ដំណើរការដែលនៅសល់។

សូម្បីតែនៅកំហាប់ដែលហាក់ដូចជាមិនសំខាន់ក៏ដោយ សំណើមអាចមានប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នពិសេស បង្កើតភាគល្អិតនុយក្លេអ៊ែរ ក្លែងបន្លំការអានវិភាគ និងសមាសធាតុងាយនឹងពុលដូចជាឧបករណ៍បញ្ជាលំហូរម៉ាស វ៉ាល់ និងបន្ទប់ដាក់សារធាតុ។ នៅពេលដែលធរណីមាត្រឧបករណ៍រួញតូច និងបង្អួចដំណើរការរឹតបន្តឹង ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័របានជំរុញតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នពីផ្នែកក្នុងមួយលាន (ppm) ទៅផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន (ppb) និងផ្នែកក្នុងមួយពាន់ពាន់លាន (ppt)។ នៅកម្រិតទាំងនេះ ការបញ្ចប់ផ្ទៃនៃបំពង់លែងជាព័ត៌មានលម្អិតតូចតាចទៀតហើយ — វាគឺជាលក្ខណៈបច្ចេកទេសចម្បងដែលត្រូវតែត្រូវបានរចនា ផ្ទៀងផ្ទាត់ និងថែរក្សាពីរោងម៉ាស៊ីនកិនរហូតដល់ឧបករណ៍។

យន្តការស្នូល

ផ្ទៃពិតកើនឡើង

ផ្ទៃរដុបមានផ្ទៃមីក្រូទស្សន៍ធំជាងផ្ទៃរលោង ហើយផ្ទៃកាន់តែច្រើនមានន័យថាកន្លែងដែលសំណើមអាចជាប់បាន។ ទំនាក់ទំនងនេះមិនមែនជាលីនេអ៊ែរទេ៖ ភាពរដុបក្នុងទម្រង់ជាកំពូល ជ្រលងភ្នំ និងជំហានព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិគុណនឹងផ្ទៃដែលមានប្រសិទ្ធភាពដែលអាចស្រូបយកបាន។ ការកាត់បន្ថយភាពរដុបនៃផ្ទៃ — វាស់វែងជា Ra ដែលជាគម្លាតមធ្យមភាគនព្វន្ធនៃទម្រង់ផ្ទៃ — ពី 0.8 µm ដល់ 0.25 µm អាចលុបបំបាត់ចំណែកធំនៃកន្លែងស្រូបយក ពីព្រោះស្នាមប្រេះជ្រៅបំផុត ដែលកាន់ទឹកយ៉ាងរឹងរូសបំផុត ត្រូវបានយកចេញទាំងស្រុង។ នេះជាមូលហេតុដែលការបញ្ចប់ផ្ទៃត្រូវបានគេពិពណ៌នាជាញឹកញាប់ថាជាអាងស្តុកសំណើមដែលលាក់កំបាំង ដែលកំណត់ថាតើប្រព័ន្ធមួយត្រូវតែបន្សុទ្ធរយៈពេលប៉ុន្មានមុនពេលវាឈានដល់ភាពបរិសុទ្ធមូលដ្ឋាន។

ការស្រូបយកសំណើម និងការបញ្ចេញឧស្ម័ន

សំណើមបង្កើតជាចំណងដែលមានស្ថេរភាពជាមួយផ្ទៃលោហៈ ជាពិសេសជាមួយនឹងស្រទាប់អុកស៊ីដដែលវិវឌ្ឍដោយធម្មជាតិនៅលើដែកអ៊ីណុក។ នៅលើផ្ទៃដែលសម្បូរទៅដោយក្រូមីញ៉ូមដែលអសកម្ម ម៉ូលេគុលទឹកនឹងស្រូបយកគីមីដោយផ្ទាល់ទៅនឹងអុកស៊ីដជាមុនសិន បន្ទាប់មកបង្កើតជាស្រទាប់ស្រូបយករូបវន្តជាបន្តបន្ទាប់។ នៅពេលដែលបំពង់ត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នហូរ ស្រទាប់ទាំងនេះនឹងរលាយបាត់បន្តិចម្តងៗ៖ ស្រទាប់ខាងក្រៅដែលចងរលុងនឹងរលាយបាត់មុនគេ ខណៈពេលដែលទឹកដែលស្រូបយកគីមីនៅតែបន្ត ហើយត្រូវការថាមពល ជាធម្មតាក្នុងទម្រង់ជាកំដៅ ដើម្បីបញ្ចេញ។ ផលវិបាកជាក់ស្តែងគឺថាបំពង់ដែលទើបដំឡើងថ្មីៗ ឬបំពង់ដែលមិនទាន់បានបញ្ចប់នឹងបញ្ចេញសំណើមចូលទៅក្នុងស្ទ្រីមឧស្ម័នរយៈពេលជាច្រើនម៉ោង ឬសូម្បីតែច្រើនថ្ងៃ ដែលពន្យារពេលបន្សុទ្ធ និងរក្សាភាពបរិសុទ្ធឱ្យនៅក្រោមលក្ខណៈបច្ចេកទេស។

ការជាប់គាំងភាគល្អិត

ស្នាមប្រេះតូចៗ រណ្តៅ និងរង្វង់តូចៗនៅលើផ្ទៃរដុបដើរតួជាអាងស្តុកភាគល្អិត។ ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការធម្មតា ភាគល្អិតទាំងនេះអាចនៅតែជាប់គាំង ប៉ុន្តែវដ្តកម្ដៅ រំញ័រ ឬការផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗនៃទិសដៅលំហូរ និងល្បឿនអាចបណ្តេញពួកវាចេញ ដោយបញ្ជូនការបំពុលចូលទៅក្នុងស្ទ្រីមឧស្ម័ន។ នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ភាគល្អិតតែមួយអាចបង្កើតពិការភាពដ៏សាហាវនៅលើបន្ទះសៀគ្វី ហើយភាគល្អិតដែលតាំងនៅក្នុងជើងងាប់ ឬប្រហោងសន្ទះបិទបើកគឺពិបាកដកចេញណាស់ នៅពេលដែលប្រព័ន្ធដំណើរការ។ ផ្ទៃរលោង និងគ្មានស្នាមប្រេះមិនត្រឹមតែកាត់បន្ថយចំនួនភាគល្អិតដែលបង្កើតឡើងប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងធ្វើឱ្យផ្ទៃដែលនៅសល់ងាយស្រួលសម្អាត និងផ្ទៀងផ្ទាត់ទៀតផង។

ផលប៉ះពាល់លើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន

ជម្រើសនៃការបញ្ចប់ផ្ទៃមានឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ និងអាចវាស់វែងបានលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន ពេលវេលាបន្សុទ្ធ និងស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។ ផ្ទៃរដុបក្នុងជួរ Ra 0.5–0.8 µm — ធម្មតានៃបំពង់ទាញត្រជាក់ដែលមិនទាន់ត្រូវបានចម្រាញ់ — រក្សាសំណើម និងភាគល្អិតបានច្រើន។ ពួកវាបញ្ចេញឧស្ម័នចេញកាន់តែខ្លាំងក្លា ត្រូវការពេលវេលាបន្សុទ្ធយូរជាង ហើយជាទូទៅសមរម្យសម្រាប់តែកម្មវិធីកម្រិត ppm ដែលការបំពុលម្តងម្កាលអាចទទួលយកបាន។ ផ្ទៃរលោងក្នុងជួរ Ra ≤ 0.25 µm ដែលជាធម្មតាផលិតដោយការប៉ូលាដោយអគ្គិសនី (EP) មានឥរិយាបទខុសគ្នាខ្លាំង៖ ពួកវាផ្តល់នូវកន្លែងស្រូបយកតិចជាង ការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញទាប និងការបង្កើតភាគល្អិតតិចជាង។ ឥទ្ធិពលនេះត្រូវបានវាស់វែងនៅក្នុងការសិក្សាដែលបានបោះពុម្ពផ្សាយ។ ការស៊ើបអង្កេតមួយលើទីតានីញ៉ូមបានបង្ហាញថា ការថយចុះ 35% នៃភាពរដុបនៃផ្ទៃបានបង្កើតការថយចុះ 30% នៃទឹកដែលបានបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ ហើយនិន្នាការស្រដៀងគ្នាត្រូវបានកត់ត្រាសម្រាប់ដែកអ៊ីណុក។ សម្រាប់ប្រព័ន្ធភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំងកម្រិត ppb និង ppt ផ្ទៃដែលបានប៉ូលាដោយអគ្គិសនីមិនមែនជារបស់ប្រណីតទេ — វាជាតម្រូវការ។

របៀបដែលផ្ទៃបញ្ចប់ប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការប្រព័ន្ធ

ការបញ្ចប់ផ្ទៃមានឥទ្ធិពលច្រើនជាងការបញ្ចេញឧស្ម័ន។ វាប៉ះពាល់ដល់ពេលវេលាបន្សុទ្ធ (ផ្ទៃរលោងឈានដល់សំណើមមូលដ្ឋានលឿនជាងមុន) ការរលាយភាគល្អិតក្រោមលំហូរ ភាពធន់នឹងការច្រេះ (ផ្ទៃ EP ដែលអសកម្ម និងសម្បូរទៅដោយក្រូមីញ៉ូម ទប់ទល់នឹងការចម្លងរោគឡើងវិញ) និងភាពងាយស្រួលក្នុងការសម្អាត (ផ្ទៃរលោងបញ្ចេញសារធាតុសម្អាត និងលាងសម្អាតទឹកទាំងស្រុង)។ វាក៏ប៉ះពាល់ដល់សមត្ថភាពផ្សារផងដែរ៖ ការបញ្ចប់ផ្ទៃស្អាត និងគ្រប់គ្រងបាន បង្កើតគុណភាពផ្សាររាងជារង្វង់ដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាជាងមុន ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរួមបញ្ចូល និងការប្រែពណ៌ពណ៌កំដៅ ដែលអាចក្លាយជាប្រភពនៃការចម្លងរោគនាពេលអនាគត។

យុទ្ធសាស្ត្រកាត់បន្ថយ

ការសម្រេចបាន និងការរក្សាភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នខ្ពស់តម្រូវឱ្យមានការរួមបញ្ចូលគ្នានៃវិធីសាស្រ្ត ដែលវិធីសាស្រ្តនីមួយៗដោះស្រាយផ្លូវនៃការបំពុលផ្សេងៗគ្នា។

ការព្យាបាលលើផ្ទៃ

ការប៉ូលាដោយអគ្គិសនី (EP) គឺជាស្តង់ដារមាសសម្រាប់ប្រព័ន្ធ UHP។ ដំណើរការនេះយកស្រទាប់លោហៈស្តើងមួយដែលត្រូវបានគ្រប់គ្រងចេញពីផ្ទៃ ដោយធ្វើឱ្យកំពូលតូចៗរាបស្មើ បើក និងលុបបំបាត់ស្នាមប្រេះ និងបង្កើនមាតិកាក្រូមីញ៉ូមនៃខ្សែភាពយន្តអកម្ម — ដែលធ្វើឱ្យផ្ទៃមានភាពធន់នឹងការច្រេះ និងមិនសូវរក្សាសំណើម។ នៅពេលកំណត់រថភ្លើងឧស្ម័ន UHP សូមជ្រើសរើសបំពង់គ្មានថ្នេរអេឡិចត្រូប៉ូលាសម្រាប់សមាសធាតុដែលសើម និងផ្គូផ្គងគ្រឿងបរិក្ខារទៅនឹងការបញ្ចប់ដូចគ្នា។ ការលាយបញ្ចូលគ្នានៃការបញ្ចប់នៅក្នុងប្រព័ន្ធមួយធ្វើឱ្យខូចអនាម័យនៃការផ្គុំទាំងមូល។ សម្រាប់កម្មវិធីដែលមិនសូវត្រូវការ ការជ្រលក់អាស៊ីត និងការធ្វើឱ្យអសកម្ម (AP) និងការធ្វើឱ្យក្តៅខ្លាំង (BA) ផ្តល់នូវតុល្យភាពល្អនៃអនាម័យ និងតម្លៃ។

ការសម្អាត និងការដោះស្រាយ

ការបញ្ចប់ផ្ទៃតែមួយមុខមិនគ្រប់គ្រាន់ទេ — ការសម្អាតយ៉ាងម៉ត់ចត់យកសំណល់ផលិតកម្ម ប្រេង និងសំណើមដែលនៅសេសសល់ពីជំហានដំណើរការមុនៗ។ ពិធីការធម្មតារួមបញ្ចូលគ្នានូវការសម្អាតជាតិខ្លាញ់អាល់កាឡាំង ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន និងការលាងសម្អាតដោយទឹកដែលគ្មានអ៊ីយ៉ុង បន្ទាប់មកដោយការសម្ងួតក្នុងបរិយាកាសស្អាត និងការវេចខ្ចប់ក្នុងថង់ពីរជាន់ដែលបិទជិត។ វិន័យក្នុងការដោះស្រាយក៏សំខាន់ដូចគ្នាដែរ៖ ស្រោមដៃ ឧបករណ៍ស្អាត និងការផ្ទុកដែលមានគម្របការពារការចម្លងរោគឡើងវិញរវាងរោងម៉ាស៊ីនកិន និងការដំឡើងចុងក្រោយ។

ដុតនំ

កំដៅសមាសធាតុក្រោមសម្ពាធទាប ឬឧស្ម័នបន្សុទ្ធដែលហូរចូល បង្កើនល្បឿនការបញ្ចេញចំហាយទឹក ដោយយកសំណើមដែលបើមិនដូច្នោះទេនឹងបញ្ចេញឧស្ម័នចូលទៅក្នុងចរន្តដំណើរការកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ។ ការដុតចេញគឺមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់វ៉ាល់ គ្រឿងបន្លាស់ និងសន្លាក់ផ្សារ ដែលរូបរាងធរណីមាត្រ និងតំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅបង្កើតជាអាងស្តុកសំណើមដែលលាក់។ រួមផ្សំជាមួយនឹងការបន្សុទ្ធអសកម្ម ការដុតចេញអាចកាត់បន្ថយពេលវេលាដែលប្រព័ន្ធថ្មីត្រូវការដើម្បីឈានដល់ភាពបរិសុទ្ធមូលដ្ឋានពីច្រើនថ្ងៃមកត្រឹមច្រើនម៉ោង។

ការបន្សុទ្ធ

ការហូរឧស្ម័នអសកម្ម ជាធម្មតាគឺអាសូត ឬអារហ្គុន ឆ្លងកាត់ប្រព័ន្ធ នឹងនាំយកសារធាតុបំពុលដែលបានបញ្ចេញចេញ ហើយការពារសំណើមពីការស្រូបយកឡើងវិញ។ ការបន្សុទ្ធគឺជាជំហានដាក់ឱ្យដំណើរការ និងជាការអនុវត្តជាបន្តបន្ទាប់៖ ប្រព័ន្ធដែលរចនាបានល្អរក្សាការបន្សុទ្ធលំហូរទាបជាបន្តបន្ទាប់នៅលើផ្នែករង់ចាំ និងប្រើឧស្ម័នបន្សុទ្ធដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដើម្បីកុំឱ្យការបន្សុទ្ធខ្លួនឯងក្លាយជាប្រភពនៃការបំពុល។

ការជ្រើសរើសសម្ភារៈ

ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈដែលមានការបញ្ចេញឧស្ម័នទាបជួយកាត់បន្ថយប្រភពនៃការបំពុលខាងក្នុងមុនពេលដែលវាមាន។ សម្រាប់សេវាកម្ម UHP ដែកអ៊ីណុក 316L ដែលផលិតដោយ VIM-VAR (ការរលាយដោយអាំងឌុចស្យុងបូមធូលី បន្តដោយការរលាយឡើងវិញដោយធ្នូបូមធូលី) គឺជាស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម៖ ការរលាយដោយបូមធូលីពីរដងកាត់បន្ថយសារធាតុដែលមិនមែនជាលោហធាតុ និងបង្កើតមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់ និងដូចគ្នា ដែលងាយស្រួលបញ្ចប់បានស្អាត និងងាយនឹងបញ្ចេញឧស្ម័នតិច។ សម្ភារៈថ្នាក់ទាបដែលមានសារធាតុដែលរួមបញ្ចូលអាចបំផ្លាញសូម្បីតែផ្ទៃដែលល្អបំផុតក៏ដោយ ពីព្រោះសារធាតុដែលរួមបញ្ចូលដើរតួជាកន្លែងចាប់ផ្តើមសម្រាប់ការបង្កើតរន្ធ និងភាគល្អិត។

ការជ្រើសរើសផ្ទៃបញ្ចប់ត្រឹមត្រូវសម្រាប់កម្មវិធីរបស់អ្នក

ឧស្សាហកម្ម និងដំណើរការផ្សេងៗគ្នាមានតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធខុសៗគ្នា ហើយការបញ្ចប់ត្រឹមត្រូវធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពរវាងភាពស្អាតទល់នឹងតម្លៃ និងភាពអាចរកបាន។ សម្រាប់កម្មវិធីដែលភាពបរិសុទ្ធកម្រិត ppb គឺគ្រប់គ្រាន់ — ឧទាហរណ៍ ខ្សែសង្វាក់ដំណើរការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ឱសថ — មួយបំពង់គ្មានថ្នេរភ្លឺ (BA) ដែលត្រូវបានដុតឱ្យក្តៅផ្តល់នូវតុល្យភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃគុណភាពផ្ទៃ ការគ្រប់គ្រងវិមាត្រ និងតម្លៃ។ សម្រាប់សេវាកម្មដែលទាមទារបំផុត សម្ភារៈដែលប៉ូលាដោយអគ្គិសនីត្រូវបានបញ្ជាក់ដោយគ្មានការសម្របសម្រួល។

• ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងបន្ទះសំប៉ែត៖ បញ្ចប់ដោយ EP, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, វេចខ្ចប់ក្នុងថង់ពីរជាន់ និងបានបញ្ជាក់ជាបាច់។ ការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ និងថវិកាភាគល្អិតត្រូវបានកំណត់ជា ppb–ppt ហើយត្រូវបានអនុវត្តជាមួយនឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសផ្ទៃ និងចំនួនភាគល្អិត។
• ឧស្ម័នពិសេស និងឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច៖ បំពង់ EP ឬបំពង់ BA កម្រិតខ្ពស់ជាមួយនឹងការបញ្ចប់ខាងក្នុងដែលគ្រប់គ្រងបាន។ ទូឧស្ម័ន និងបន្ទះចែកចាយទាមទារគុណភាពស្របគ្នាពីសមាសធាតុនីមួយៗ។
• ឱសថ និងជីវបច្ចេកវិទ្យា៖ ផ្ទៃ EP ឬ BA ដែលងាយស្រួលសម្អាត និងផ្ទៀងផ្ទាត់ បំពេញតាមគោលការណ៍ណែនាំបញ្ចប់ផ្ទៃ ASME BPE និងគាំទ្រដល់វដ្ត CIP/SIP។
• ឧបករណ៍វិភាគ និង ក្រូម៉ាតូក្រាហ្វីឧស្ម័ន៖បំពង់ឧបករណ៍ជាមួយនឹងការបញ្ចប់អង្កត់ផ្ចិតខាងក្នុងដែលបានគ្រប់គ្រង និងការអត់ធ្មត់វិមាត្រច្បាស់លាស់ ពីព្រោះស្ថេរភាពសញ្ញាអាស្រ័យលើឧស្ម័នផ្ទុកដែលអាចធ្វើម្តងទៀតបាន និងគ្មានសារធាតុបំពុល។
• ដំណើរការទូទៅ និងបំពង់ឧស្សាហកម្ម៖ ការបញ្ចប់ AP ឬ BA ផ្តល់នូវអនាម័យគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់សេវាកម្មកម្រិត ppm ក្នុងតម្លៃទាបជាង។

ស្តង់ដារ និងលក្ខណៈបច្ចេកទេសឧស្សាហកម្ម

ការបញ្ជាក់​ពី​ការបញ្ចប់​ផ្ទៃ​ឲ្យ​បាន​ច្បាស់លាស់​ទាមទារ​ឲ្យ​មាន​ភាសា​រួម​មួយ។ Ra (ភាពរដុបមធ្យមនព្វន្ធ) គឺជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រដែលប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ប៉ុន្តែកម្មវិធីសំខាន់ៗក៏យោងទៅលើ Rz, Rmax និងចំនួនកំពូល រួមជាមួយនឹងស្តង់ដារវាស់ស្ទង់ភាពរដុបផ្ទៃដូចជា SEMI F19។ សម្រាប់បំពង់ដែកអ៊ីណុក ឯកសារយោងទូទៅរួមមាន ASTM A269 និង A270 សម្រាប់បំពង់គ្មានថ្នេរ និងអនាម័យ ASME BPE សម្រាប់ឧបករណ៍ជីវកែច្នៃ និងស្តង់ដារ SEMI សម្រាប់កម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ នៅពេលដែលលក្ខណៈបច្ចេកទេសទាមទារគុណភាព EP វាគួរតែបញ្ជាក់ពីតម្លៃ Ra វិធីសាស្ត្រវាស់ស្ទង់ និងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យទទួលយក — ឧទាហរណ៍ “Ra ≤ 0.25 µm វាស់ដោយស្ទីលស្ទីលលើផ្ទៃខាងក្នុង បានត្រួតពិនិត្យ និងបញ្ជាក់ 100%”។

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់

សំណួរ៖ តើតម្លៃ Ra ប៉ុន្មានត្រូវបានចាត់ទុកថាជាថ្នាក់ UHP?

ក៖ ប្រព័ន្ធ​ដែលមាន​ភាពបរិសុទ្ធ​ខ្ពស់​បំផុត​ជាធម្មតា​បញ្ជាក់ Ra ≤ 0.25 µm ហើយ​រោងចក្រ​ផលិត​ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក​ជាច្រើន​តម្រូវ​ឱ្យ​មាន Ra ≤ 0.13 µm លើ​ផ្ទៃ​ដែល​បាន​ប៉ូលា​ដោយ​អគ្គិសនី។ តម្រូវការ​ពិតប្រាកដ​អាស្រ័យ​លើ​ដំណើរការ និង​ថ្នាក់​ភាពបរិសុទ្ធ​ដែល​កំពុង​ត្រូវ​បាន​ចែកចាយ។

សំណួរ៖ តើការប៉ូលាដោយអគ្គិសនីយកភាគល្អិតចេញទេ?

ក៖ ការប៉ូលាដោយអគ្គិសនីយកស្រទាប់លោហៈដែលគ្រប់គ្រងចេញ ដែលលុបបំបាត់កំពូលតូចៗ រង្វង់ និងស្នាមប្រេះដែលភាគល្អិត និងសំណើមលាក់ខ្លួន។ វាមិនជំនួសការសម្អាតទេ៖ ផ្នែកដែលត្រូវបានប៉ូលាដោយអគ្គិសនីត្រឹមត្រូវនៅតែត្រូវតែសម្អាត លាងសម្អាត និងវេចខ្ចប់ក្រោមលក្ខខណ្ឌបន្ទប់ស្អាត។

សំណួរ៖ តើការបញ្ចប់ផ្ទៃប៉ះពាល់ដល់ពេលវេលាសម្អាតយ៉ាងដូចម្តេច?

ក៖ ផ្ទៃរដុបកាន់សំណើមបានច្រើន ហើយបញ្ចេញវាយឺតជាង ដូច្នេះការសម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធមូលដ្ឋានត្រូវការពេលយូរជាង។ ផ្ទៃរលោងដែលប៉ូលាដោយអគ្គិសនីអាចកាត់បន្ថយពេលវេលាបន្សុទ្ធបានច្រើនម៉ោង ឬច្រើនថ្ងៃ ដែលបកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅជាការចាប់ផ្តើមដំណើរការលឿនជាងមុន និងពេលវេលារងចាំតិចជាងមុន។

សំណួរ៖ តើបំពង់ដែលកម្តៅភ្លឺ (BA) គ្រប់គ្រាន់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឧស្ម័នដែរឬទេ?

ក៖ បំពង់ BA ដែលមាន Ra ប្រហែល 0.25–0.4 µm គឺសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីជាច្រើនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឱសថ។ សម្រាប់សេវាកម្មអេឡិចត្រូនិច ppb–ppt និងសេវាកម្មឧស្ម័នពិសេស ជាទូទៅការប៉ូលាដោយអគ្គិសនីត្រូវបានទាមទារ។

សំណួរ៖ តើសម្ភារៈអ្វីដែលល្អបំផុតសម្រាប់ប្រព័ន្ធឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត?

ក៖ ដែកអ៊ីណុក 316L ដែលផលិតដោយការរលាយ VIM-VAR គឺជាជម្រើសស្តង់ដារសម្រាប់ប្រព័ន្ធឧស្ម័ន UHP ដោយសារតែមាតិការួមបញ្ចូលទាប និងមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធស្អាត និងស៊ីសង្វាក់គ្នា។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការបញ្ចប់ផ្ទៃមិនមែនជាលក្ខណៈសោភ័ណភាពនៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកទេ — វាគឺជាការបញ្ជាក់មុខងារដែលគ្រប់គ្រងការស្រូបយកសំណើម ការរក្សាភាគល្អិត និងការបញ្ចេញឧស្ម័នពេញមួយអាយុកាលនៃប្រព័ន្ធឧស្ម័ន។ ការបញ្ចប់ផ្ទៃរលោងជាងមុនគឺជាតម្រូវការជាមុនសម្រាប់ការសម្រេចបាន និងរក្សាកម្រិតខ្ពស់បំផុតនៃភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន។ តាមរយៈការបញ្ជាក់ការបញ្ចប់ត្រឹមត្រូវ — ប៉ូលាដោយអគ្គិសនីសម្រាប់សេវាកម្ម UHP ការដុតភ្លឺ ឬជ្រលក់ និងអសកម្មសម្រាប់កម្មវិធីដែលមិនសូវត្រូវការ — ដោយផ្សំវាជាមួយនឹងសម្ភារៈបញ្ចេញឧស្ម័នទាបដូចជាដែកអ៊ីណុក 316L VIM-VAR និងការគាំទ្រវាជាមួយនឹងការសម្អាត ការដុតនំ និងការបន្សុទ្ធយ៉ាងម៉ត់ចត់ វិស្វករអាចសាងសង់ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នដែលបំពេញគោលដៅភាពបរិសុទ្ធដែលទាមទារច្រើនបំផុតដោយភាពជឿជាក់ និងរក្សាវានៅទីនោះសម្រាប់អាយុកាលរបស់រោងចក្រ។