As សារធាតុ semiconductorនិងបច្ចេកវិទ្យាមីក្រូអេឡិចត្រូនិចអភិវឌ្ឍឆ្ពោះទៅរកការអនុវត្តខ្ពស់ និងការរួមបញ្ចូលកាន់តែខ្ពស់ តម្រូវការកាន់តែខ្ពស់ត្រូវបានដាក់លើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិច។ បច្ចេកវិទ្យាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គឺជាផ្នែកសំខាន់មួយនៃប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាគឺជាបច្ចេកវិជ្ជាសំខាន់សម្រាប់ការចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលបំពេញតាមតម្រូវការនៃចំណុចប្រើប្រាស់ឧស្ម័នខណៈពេលដែលនៅតែរក្សាបាននូវគុណភាពដែលមានលក្ខណៈគ្រប់គ្រាន់។
បច្ចេកវិជ្ជាបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមមានការរចនាប្រព័ន្ធត្រឹមត្រូវ ការជ្រើសរើសបំពង់ និងសម្ភារៈជំនួយ ការសាងសង់ និងការដំឡើង និងការធ្វើតេស្ត។
01 គំនិតទូទៅនៃបំពង់បញ្ជូនឧស្ម័ន
រាល់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធ និងអនាម័យខ្ពស់ទាំងអស់ត្រូវដឹកជញ្ជូនទៅកាន់ចំណុចឧស្ម័នស្ថានីយតាមរយៈបំពង់។ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការគុណភាពដំណើរការសម្រាប់ឧស្ម័ន នៅពេលដែលសន្ទស្សន៍នៃការនាំចេញឧស្ម័នមានភាពជាក់លាក់នោះ ចាំបាច់ត្រូវយកចិត្តទុកដាក់លើការជ្រើសរើសសម្ភារៈ និងគុណភាពសំណង់នៃប្រព័ន្ធបំពង់។ បន្ថែមពីលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិតឧស្ម័នឬឧបករណ៍បន្សុតវាត្រូវបានរងផលប៉ះពាល់យ៉ាងធំធេងដោយកត្តាជាច្រើននៃប្រព័ន្ធបំពង់។ ដូច្នេះការជ្រើសរើសបំពង់ត្រូវតែគោរពតាមគោលការណ៍ឧស្សាហកម្មបន្សុតដែលពាក់ព័ន្ធនិងសម្គាល់សម្ភារៈនៃបំពង់នៅក្នុងគំនូរ។
02 សារៈសំខាន់នៃបំពង់បង្ហូរប្រេងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការដឹកជញ្ជូនឧស្ម័ន
សារៈសំខាន់នៃបំពង់បង្ហូរប្រេងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការដឹកជញ្ជូនឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការរលាយដែកអ៊ីណុក តោននីមួយៗអាចស្រូបយកឧស្ម័នប្រហែល 200 ក្រាម។ បន្ទាប់ពីដែកអ៊ីណុកត្រូវបានដំណើរការ មិនត្រឹមតែសារធាតុបំពុលផ្សេងៗជាប់គាំងលើផ្ទៃរបស់វាប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏មានបរិមាណឧស្ម័នមួយចំនួនត្រូវបានស្រូបចូលទៅក្នុងបន្ទះដែករបស់វា។ នៅពេលដែលមានលំហូរខ្យល់ឆ្លងកាត់បំពង់ នោះផ្នែកនៃឧស្ម័នដែលស្រូបដោយលោហៈធាតុនឹងចូលទៅក្នុងលំហូរខ្យល់ឡើងវិញ និងបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធ។
នៅពេលដែលលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបំពង់មិនបន្ត បំពង់បង្កើតសម្ពាធ adsorption នៅលើឧស្ម័នដែលឆ្លងកាត់។ នៅពេលដែលលំហូរខ្យល់ឈប់ឆ្លងកាត់ ឧស្ម័នដែលស្រូបយកដោយបំពង់បង្កើតជាការវិភាគកាត់បន្ថយសម្ពាធ ហើយឧស្ម័នដែលបានវិភាគក៏ចូលទៅក្នុងឧស្ម័នសុទ្ធនៅក្នុងបំពង់ដែលជាភាពមិនបរិសុទ្ធ។
នៅពេលដំណាលគ្នានោះវដ្តនៃការស្រូបយកនិងការវិភាគនឹងបណ្តាលឱ្យលោហៈដែលស្ថិតនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់បង្កើតបរិមាណជាក់លាក់នៃម្សៅ។ ភាគល្អិតធូលីលោហៈនេះក៏បំពុលឧស្ម័នសុទ្ធនៅក្នុងបំពង់ផងដែរ។ លក្ខណៈនៃបំពង់នេះគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។ ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែលបានដឹកជញ្ជូន មិនត្រឹមតែតម្រូវឱ្យផ្នែកខាងក្នុងនៃបំពង់មានភាពរលោងខ្ពស់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ត្រូវមានភាពធន់ទ្រាំពាក់ខ្ពស់ផងដែរ។
នៅពេលដែលឧស្ម័នមានលក្ខណៈសម្បត្តិច្រេះខ្លាំង បំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលធន់នឹងការ corrosion ត្រូវតែប្រើសម្រាប់បំពង់។ បើមិនដូច្នោះទេចំណុចច្រេះនឹងលេចឡើងនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់ដោយសារតែការ corrosion ។ ក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរ បំណែកដែកធំៗនឹងរបូតចេញ ឬអាចប្រេះចេញ ដោយហេតុនេះនឹងបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធដែលត្រូវបានដឹក។
03 សម្ភារៈបំពង់
ការជ្រើសរើសសម្ភារៈនៃបំពង់ត្រូវជ្រើសរើសតាមតម្រូវការនៃការប្រើប្រាស់។ គុណភាពនៃបំពង់ត្រូវបានវាស់ជាទូទៅយោងទៅតាមភាពរដុបនៃផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់។ ភាពរដុបទាប ទំនងជាវាផ្ទុកភាគល្អិតតិច។ ជាទូទៅចែកចេញជាបីប្រភេទ៖
មួយគឺបំពង់ EP 316Lដែលត្រូវបានប៉ូលាដោយអេឡិចត្រូលីត (អេឡិចត្រូប៉ូឡូញ) ។ វាមានភាពធន់នឹងការ corrosion និងមានភាពរដុបលើផ្ទៃទាប។ Rmax (កំពូលអតិបរមាដល់កម្ពស់ជ្រលងភ្នំ) គឺប្រហែល 0.3μm ឬតិចជាងនេះ។ វាមានភាពសំប៉ែតខ្ពស់បំផុត ហើយមិនងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតចរន្តមីក្រូអេដឌីទេ។ យកភាគល្អិតកខ្វក់ចេញ។ ឧស្ម័នប្រតិកម្មដែលប្រើក្នុងដំណើរការគួរតែត្រូវបានដាក់បំពង់នៅកម្រិតនេះ។
មួយគឺ កBA ថ្នាក់ទី 316Lបំពង់ដែលត្រូវបានព្យាបាលដោយ Bright Anneal ហើយជារឿយៗត្រូវបានប្រើសម្រាប់ឧស្ម័នដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយបន្ទះឈីបប៉ុន្តែមិនចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មនៃដំណើរការដូចជា GN2 និង CDA ទេ។ មួយគឺបំពង់ AP (Annealing & Picking) ដែលមិនត្រូវបានព្យាបាលយ៉ាងពិសេស ហើយជាទូទៅត្រូវបានប្រើសម្រាប់សំណុំពីរនៃបំពង់ខាងក្រៅដែលមិនត្រូវបានប្រើជាខ្សែផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័ន។
04 ការសាងសង់បំពង់
ដំណើរការនៃមាត់បំពង់គឺជាចំណុចសំខាន់មួយនៃបច្ចេកវិទ្យាសំណង់នេះ។ ការកាត់បំពង់បង្ហូរ និងការរៀបចំជាមុនត្រូវបានអនុវត្តក្នុងបរិយាកាសស្អាត ហើយនៅពេលជាមួយគ្នានេះ វាត្រូវបានធានាថាមិនមានស្នាម ឬការខូចខាតលើផ្ទៃបំពង់មុនពេលកាត់។ ការរៀបចំសម្រាប់ការបង្ហូរអាសូតនៅក្នុងបំពង់បង្ហូរប្រេងគួរតែត្រូវបានធ្វើឡើងមុនពេលបើកបំពង់បង្ហូរ។ ជាគោលការណ៍ ការផ្សារដែកត្រូវបានប្រើដើម្បីភ្ជាប់បំពង់បញ្ជូន និងចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធ និងអនាម័យខ្ពស់ ជាមួយនឹងលំហូរដ៏ធំ ប៉ុន្តែការផ្សារដោយផ្ទាល់មិនត្រូវបានអនុញ្ញាតទេ។ សន្លាក់ស្រោមគួរតែត្រូវបានប្រើ ហើយសម្ភារៈបំពង់ដែលប្រើគឺតម្រូវឱ្យមិនមានការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធកំឡុងពេលផ្សារដែក។ ប្រសិនបើសម្ភារៈដែលមានមាតិកាកាបូនខ្ពស់ពេកត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ ការជ្រាបចូលខ្យល់នៃផ្នែកផ្សារនឹងធ្វើឱ្យឧស្ម័នខាងក្នុង និងខាងក្រៅបំពង់ជ្រាបចូលគ្នាទៅវិញទៅមក បំផ្លាញភាពបរិសុទ្ធ ភាពស្ងួត និងភាពស្អាតនៃឧស្ម័នបញ្ជូន ដែលនឹងនាំឱ្យមានផលវិបាកធ្ងន់ធ្ងរ។ និងប៉ះពាល់ដល់គុណភាពផលិតកម្ម។
សរុបមក សម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងបំពង់បញ្ជូនឧស្ម័នពិសេស បំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានព្យាបាលយ៉ាងពិសេស ដែលធ្វើឱ្យប្រព័ន្ធបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (រួមទាំងបំពង់បង្ហូរប្រេង បំពង់បង្ហូរប្រេង វ៉ាល់ VMB, VMP) កាន់កាប់។ បេសកកម្មសំខាន់ក្នុងការចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៤