ហេតុអ្វីបានជាប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័ន UHP មានសារៈសំខាន់ខ្លាំងម្ល៉េះ?
នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក — ដំណើរការដូចជាការឆ្លាក់ CVD ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង និងលីតូក្រាហ្វី — ឧស្ម័នដំណើរការត្រូវតែមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ជាធម្មតា 99.9999% (6N) ឬសូម្បីតែ 99.99999% (7N)។ សូម្បីតែសារធាតុចម្លងរោគតូចៗនៅកម្រិត ppb (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន) ឬ ppt (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់ពាន់លាន) — ដូចជាសំណើម ឬអុកស៊ីសែន — អាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពធ្ងន់ធ្ងរដូចជាការស្តើងអុកស៊ីដច្រកទ្វារ ចន្លោះលោហៈ ឬសៀគ្វីខ្លីនៅលើបន្ទះសៀគ្វី ដែលអាចបំផ្លាញចោលទាំងស្រុង។
ដូច្នេះបេសកកម្មនៃប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័ន UHP គឺដើម្បីដឹកជញ្ជូនឧស្ម័នពីប្រភពទៅកាន់ឧបករណ៍ដំណើរការដោយគ្មានការរិចរិលនៃភាពបរិសុទ្ធ ដោយការពារទាំងការបំពុល និងការលេចធ្លាយនៅគ្រប់ចំណុច។
ហេតុអ្វីបានជាបំពង់ EP ក្លាយជាឆ្អឹងខ្នងនៃប្រព័ន្ធ UHP?
បំពង់ EP (Electropolished) ត្រូវបានផលិតពីដែកអ៊ីណុកដែលឆ្លងកាត់ដំណើរការប៉ូលាអេឡិចត្រូគីមី ដែលផ្តល់នូវផ្ទៃខាងក្នុងដូចកញ្ចក់។ នេះធ្វើឱ្យវាក្លាយជា "សរសៃឈាម" ដែលមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការចែកចាយឧស្ម័ន UHP។
អនាម័យខ្ពស់បំផុត - ការបង្ការនៅប្រភព
ដំណើរការ EP កាត់បន្ថយភាពរដុបនៃផ្ទៃខាងក្នុង (Ra) មកត្រឹម 0.13 µm – 0.25 µm ឬទាបជាងនេះ។ ការបញ្ចប់រលោងខ្លាំងនេះលុបបំបាត់ស្នាមប្រេះតូចៗ និងកន្លែងស្រូបយក ដោយមិនបន្សល់ទុកកន្លែងសម្រាប់ភាគល្អិត អ៊ីយ៉ុងលោហៈ ឬសំណើមជាប់ឡើយ។
ភាពធន់នឹងការច្រេះប្រសើរឡើង - ការអភិរក្សភាពបរិសុទ្ធ
ជំហានប៉ូលាដោយអគ្គិសនីយកភាពមិនបរិសុទ្ធលើផ្ទៃចេញ ហើយបង្កើតជាស្រទាប់អកម្មសម្បូរទៅដោយក្រូមអុកស៊ីដ ដែលធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពធន់នឹងឧស្ម័នกัดกร่อนដូចជា Cl₂, CF₄ និង HCl។ នេះការពារការច្រេះជញ្ជាំងបំពង់ដែលអាចបង្កើតភាគល្អិត ឬការបំពុលឧស្ម័នចេញ។
ប្រសិទ្ធភាពលំហូរប្រសើរឡើង និងការបន្សុទ្ធលឿនជាងមុន
ជញ្ជាំងខាងក្នុងរលោងកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងលំហូរ និងបង្កើនល្បឿនការបន្សុទ្ធប្រព័ន្ធ និងការជំនួសឧស្ម័ន។ នៅក្នុងដំណើរការដែលត្រូវការការប្តូរឧស្ម័នយ៉ាងរហ័ស នេះធ្វើឱ្យវដ្តពេលវេលាខ្លី និងជំរុញទិន្នផលរបស់រោងចក្រ។
សម្ភារៈលំដាប់ខ្ពស់ - ស្តង់ដារ "មកុដ"
បំពង់ EP ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ត្រូវបានផលិតឡើងពីដែកអ៊ីណុក VIM‑VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting) 316L។ ដំណើរការរលាយពីរជាន់នេះធានានូវភាពបរិសុទ្ធខ្លាំងនៃលោហៈមូលដ្ឋាន ដែលជាតម្រូវការជាមុនសម្រាប់ការសម្រេចបាននូវដំណើរការចុងក្រោយរបស់ EP។
សេណារីយ៉ូកម្មវិធីសំខាន់ៗ
•
ដំណើរការស្នូល– ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការឆ្លាក់ ការផលិតឡើងវិញនូវជាលិកាស្លាកស្នាម (CVD) ការដាក់អ៊ីយ៉ុង និងការបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី។
•
ឧស្ម័នពិសេស– ការដោះស្រាយដោយសុវត្ថិភាពនៃឧស្ម័នងាយឆេះ ពុល ឬច្រេះ ដូចជា SiH₄, PH₃, Cl₂ និង BCl₃។ ចំពោះឧស្ម័នដែលមានគ្រោះថ្នាក់ខ្លាំង បំពង់ EP ដែលមានធុងពីរជាន់ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ (បំពង់ខាងក្នុងសម្រាប់ឧស្ម័ន ស្រទាប់ខាងក្រៅត្រូវបានបង្ហូរចេញ ឬបន្សុទ្ធដោយអាសូតសម្រាប់ត្រួតពិនិត្យការលេចធ្លាយ)។
•
ផ្នែករឹងសំខាន់ៗ– ប្រើក្នុងបន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (VMBs) ទូឧស្ម័ន និងឧបករណ៍ភ្ជាប់ឧបករណ៍ដំណើរការ ដែលផ្ទៃខាងក្នុងស្អាតខ្លាំងគឺចាំបាច់។
លើសពីបំពង់៖ ចំណុចសំខាន់ៗផ្សេងទៀតសម្រាប់ប្រព័ន្ធ UHP ពេញលេញ
ដើម្បីធានាបាននូវភាពសុចរិតដាច់ខាត ប្រព័ន្ធក៏ត្រូវតែរួមបញ្ចូលផងដែរនូវ៖
•
ការផ្សារដែកដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ– បានអនុវត្តក្នុងបន្ទប់ស្អាតកម្រិត ISO ថ្នាក់ 5 (ថ្នាក់ 100) ឬល្អជាងនេះ ដោយលុបបំបាត់ភាពខុសគ្នានៃការផ្សារដោយដៃ និងហានិភ័យនៃការបំពុល។
•
គ្រឿងបន្លាស់ផ្សាភ្ជាប់មុខដែកទាំងអស់– ដូចជាប្រភេទ VCR® ឬ W-Seal ដែលពឹងផ្អែកលើប្រដាប់បិទភ្ជាប់ដែកសម្រាប់ដំណើរការសូន្យការលេចធ្លាយ។
•
ការសម្អាត និងការវេចខ្ចប់យ៉ាងម៉ត់ចត់– បំពង់ EP ជាធម្មតាត្រូវបានសម្អាតដោយទឹកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្ងួត និងបន្សុទ្ធដោយអាសូត មុនពេលដាក់ក្នុងថង់ពីរជាន់ក្នុងការវេចខ្ចប់ក្នុងបន្ទប់ស្អាត ដើម្បីរក្សាភាពបរិសុទ្ធរបស់វា "ដូចដែលបានដឹកជញ្ជូន" រហូតដល់ការដំឡើង។
បំពង់ EP មិនមែនគ្រាន់តែជាបំពង់មួយនោះទេ—វាគឺជាខ្សែការពារទីមួយក្នុងការចែកចាយឧស្ម័នស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ផ្ទៃរលោងខ្លាំងរបស់វា ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្ពស់ និងភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈលំដាប់ខ្ពស់ ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើទិន្នផលបន្ទះសៀគ្វី ភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ និងប្រាក់ចំណេញរបស់រោងចក្រទាំងមូល។ នៅក្នុងពិភពនៃបន្ទះសៀគ្វីក្រោម 5nm និងថវិកាពិការភាពកាន់តែតឹងរ៉ឹង បំពង់ EP មិនមែនជាជម្រើសទេ—វាគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ សីហា-០៥-២០២៦